Statisk kontrol af renrum
1. Grundlæggende principper for statisk kontrol
1) Bestemme det statiske kontrolniveau
(2) Minimer produktionen af statisk ladning
(3) Udluftnings- og neutraliseringsmetoden fremskynder afslutningen af statisk ladning og forhindrer akkumulering af statisk elektricitet
(4) Beskyt produktet mod ESD-skader
2. Bestem niveauet af statisk kontrol
1) Klassificering af elektrostatisk modtagelighed for komponenter, komponenter og udstyr
Niveau 1: let beskadiget af 0-1999V elektrostatisk spænding
Niveau 2: let beskadiget af elektrostatisk spænding i 2000-3999V
Niveau 3: let beskadiget af elektrostatisk spænding 4000-5999V
Hvis den følsomme statiske spænding er større end 16000V, er det ikke nødvendigt at træffe antistatiske foranstaltninger.
2) Klassificering af arbejdsområdet for elektrostatisk beskyttelse
Klasse A: Lad det elektrostatiske potentiale til jorden ikke overstige ±100V
Klasse B: Lad det elektrostatiske potentiale til jorden ikke overstige ±1000V
I selve projektet overstiger det elektrostatiske potentiale ikke 3 niveauer af den elektrostatiske følsomme spænding af de tilsvarende komponenter, komponenter og udstyr som 100V, 500V og 1000V.
3. Minimer generering af statisk ladning så meget som muligt
Dette er det første skridt i trilogien af statisk kontrol. I dette rene arbejdsmiljø er de bedste foranstaltninger:
(1) Prøv at bruge udstyr med lignende egenskaber for at reducere elektrostatisk ladning, der genereres under kontaktfriktionsseparationsprocessen;
(2) Prøv at anvende statiske ledende eller statiske spredende materialer for at reducere akkumulering af statiske ladninger under processen med kontaktfriktion og adskillelse;
(3) Prøv at bruge en produktionsproces, der reducerer elektrostatisk ladning genereret af kontaktfriktionsadskillelse.
4. Frigivelse og neutralisering
Dette er det første skridt i tretrinsprocessen til styring af statisk elektricitet. De sædvanlige foranstaltninger i det rene rum for mikroelektronikproduktion er jordforbindelse ved hjælp af ledende eller spredende materialer til at aflade statiske ladninger og ioniserende spredere for at neutralisere statiske ladninger.
1) Jordforbindelse
Det rene rum skal være udstyret med et uafhængigt elektrostatisk jordforbindelsessystem (herunder jordforbindelsesmetalnetstøttesystem, støttesystem til jordforbindelse til produktionslinjen, støttesystem til jordforbindelse), således at metalskallerne på alt udstyr i rummet, metalstøtter til mobilt udstyr, antistatisk udstyr osv. sikkert og effektivt kan aflade statiske ladninger. Læg den på jorden. Personalets ladede elektricitet er jordet gennem en håndledsrem og udledes til jorden gennem en antistatisk sko eller hælrem og derefter gennem en antistatisk jord. Jord, vægge, lofter, skillevægge osv. er hårdt jordet, mens udstyrskaller, mobilt udstyr (biler, stole, hylder osv.), arbejdsbænke osv. er bløde jordede.
(2) Ioniseret Xiao Electric
Komponenter og PCB produceret og samlet i rene rum, produktionslinjer og arbejdsstationer er altid uundgåelige, at der er nogle isolerede ledere og isolerende dielektriske materialer (såsom de fleste almindelige plast), der ikke kan jordes. I nogle miljøer bruges ioniserende eliminatorer ofte til lokalt at sprede de statiske ladninger på disse objekter, og oftere ved hjælp af luftionisering for at neutralisere de statiske ladninger på det isolerende medium og isolerede ledere.
(3) Statisk elektricitet og statiske spredende materialer
Statiske elledningsmaterialer og statiske dissipative materialer er også meget gode statiske opladningsudladningsmaterialer på grund af deres statiske elektricitetsledningsevne og er sikrere end metallederudladninger. De bruges normalt som gulve, vægge, arbejdsbænke og omsætningsbeholdere. , Pincet, børster og andet antistatisk udstyr.
5. Undgå ESD og beskyt produkter
Dette er det sidste skridt i trilogien for at kontrollere statisk elektricitet. I det rene rum for mikroelektronikproduktion er en metode for at forhindre, at ESD forekommer på elektrostatiske følsomme komponenter eller komponenter, PCB, at levere passende jordforbindelse eller shunts til komponenter og komponenter til at "sprede" den statiske elektricitet, der findes på produktet. Opladning; en anden metode er at anvende passende emballagemetoder og -materialer til håndtering af emballering og transport af elektrostatiske følsomme anordninger. Disse materialer kan effektivt beskytte indtrængen af elektriske ladninger i produktet og reducere den statiske ladning, der genereres af produktets bevægelse i emballageboksen.
Internationalt har halvledere, flade flydende krystaldisplays og optoelektronik udviklet sig hurtigt med højere og højere integrationsniveauer, tyndere spåntråddiametre og højere og højere krav til antistatisk. American ESD Association er begyndt at revidere ANS ESD S 20.20-1999 elektrostatisk udledning kontrolprogram, og har foretaget nogle ændringer i SSD elektrostatisk modtagelighed klassificering.
Dette giver komponentbrugere en advarsel, uanset hvornår personale eller udstyr fremstiller udstyr, fortæller dig de miljøkontrolkrav, der kan være nødvendige. Hvis den tilladte spænding i EPA-området når 25V, er jeg bange for, at vores eksisterende antistatiske udstyr, udstyr, værktøjer og teknik bliver nødt til at gennemgå hårdt arbejde.