Partikelkontrolmetode
Partikelstyring i et så stort omgivende miljø er en enorm udfordring og har stor indflydelse på udbyttet. Derfor er det nødvendigt at producere pålidelige, gentagelige metoder til analyse af online produktdata og reparation af procesrelaterede defekter til større LCD-skærme og overkommelige LCD-skærme. Dette betyder, at glasset skal inspiceres under kritiske processer i fremstillingsprocessen for at sikre, at partiklerne fjernes før pladen, og LCD-materialet sluttes til sidst sammen.
Før skærmen er færdig, er det nødvendigt at kontrollere pixlerne, som udføres af LCD-sensoren, efter at strømmen er anvendt for at bestemme, om pixelerne kan fungere. I testen, hvis en sort plet forårsaget af synlige partikler fremkommer under mikroskopet, kan det normalt forgases eller slås af med en laser for at løse problemet. Men hvis partiklerne er indeni, når LCD-materialet er blevet sandwichet mellem glasset, kan det ikke repareres. Hvad du kan gøre er at identificere forureningskilden, så den kan repareres, før den gør mere skade. Heldigvis er der kun fire eller fem processer i displayfremstillingsprocessen, så det er nemt at finde forureningskilder. Det kan skyldes fejl i procesudstyr, menneskelig fejl eller renlighed.
For at afgøre, om procesudstyret udsender for mange partikler, bruger procesinspektøren en laserpartikeltæller, som også overvåges ved hjælp af en normal luftovervågningsenhed og bruger et HEPA-filter til at fjerne lave koncentrationer af luftbårne molekylære forureninger fra processen eller udstyret . I nogle avancerede skærmproducenter, procesudstyr, ovne og støvsugere har alle HEPA-filtre, der udskiftes som planlagt, og hele omgivelserne har også et luftlaminat flowstyringssystem. Luftstrømningshastigheden opretholdes ved 90 FPM (+/- 20 FPM), fordi hvis luftstrømmen er over 110 FPM, skabes der turbulens, hvilket får partiklerne til at virke rundt i rummet. På området ætsning og segmentering produceres mange store glaspartikler, og en støvsuger med et HEPA-filter bruges til at rengøre glasoverfladen og fjerne partikler fra luften og apparatets overflade.
Personalet bør følge et strengt arbejdstøjs dressing system; ingen makeup eller spray parfume; Alle forbrugsstoffer, herunder klude, mops og filtre, skal steriliseres og pakkes i dobbeltposer, inden de bringes i fabrikken. Cleanroom tøj vaskes en gang om ugen, og partikelprøvning udføres før brug. Tøjleverandører gennemgås regelmæssigt for vand, udstyr og forebyggende vedligeholdelsesteknikker samt miljøpartikler for at sikre, at de opfylder cleanroom-standarder. Kontroller regelmæssigt temperatur og fugtighed i fabrikken; rengør hele systemet regelmæssigt, tage hygiejneforanstaltninger og udføre forebyggende vedligeholdelse; rengør regelmæssigt procesudstyret for at fjerne manglende partikler under rengøringsprocessen; overvåge og udskifte vaskemidler og kemiske filtre i rette tid.
Det er klart, at i displayet industrien stadig er i stand til at kontrollere forurenende stoffer bag halvlederindustrien i et årti, og kontrollen med forurenende stoffer forbliver et problem. For at håndtere forurening i procesforarbejdning er løsningen at eliminere faren så tidligt som muligt og forbedre inspektions- og reparationsteknikker. Mens enhedsproducenter er villige til at se udviklingen af produktionsteknologi, er antallet af skærmproducenter stort og uafhængigt, så anvendelsen af avancerede processer har været svær at finde frem til. På lang sigt bør der derfor etableres en ensartet standard for forureningskontrol i displaybranchen. Selv om virksomhederne skal ændre deres interne drift for at opfylde standardkravene, kan standarder i sidste ende føre til en reduktion i udstyrsomkostningerne. Derfor kommer standarden en dag.