Statiske elkrav til rene rum
(1) Rent værelse
Halvledere, fladskærme flydende krystaldisplays, optoelektronik og biomedicin kræver alle rene produktionsværksteder. Generelt henviser rene rum til rum eller begrænsede rum, hvor koncentrationen af ophængte luftpartikler i rummet styres inden for bestemte grænser. Jo mindre det begrænsede antal partikler er, jo højere er renligheden.
(2) Statisk elektricitet i renrum
På grund af renlighedskravene i det rene rum, indendørs brug
(1) Et stort antal dekorative materialer med høj isolering medium, gulve, vægge, døre, lofter, skillevægge, arbejdsbænke, stole osv., disse materialer er nemme at elektrificere og oplades ved friktion, og er ikke let at lække og frigive.
Plast gulv 500V ~ 1000V i photoetching værelse, 500V ~ 1500V i diffusion værelse, 500V ~ 1500V i flise gulv, 700V for plast tapet, OV ~ 1000V for plast loft, 500V ~ 3000V for metal bevægelige læder stol overflade.
(2) Når folk bærer rene overalls, sko, gå eller arbejde, friktion med forskellige materialer, udstyr og udstyr vil generere statisk elektricitet, og mennesker, tøj og sko vil blive opkrævet.
Folk iført nylon tøj og plast gummi-sålede sko gå langsomt på det rene gulv, med 7000V ~ 8000V statisk spænding på deres kroppe.
1200V (10%~20%RH), 250V (65%~90%RH) kan bruges til at gå på vinylgulv, 35000V (10%~20%RH), 1500V (65%~90) kan bruges til at gå på gulvtæppet %RH), chip samlebåndet, det arbejdstøj, som folk bærer kan nå 10KV.
(3)Luftstrømmen fra klimaanlægget passerer gennem det primære effektfilter, medium-effektfilteret og højeffektivfilteret, og den rensede udløbsluftstrøm er elektrostatisk ladet.
Aluminium plade lufttilførsel og returnere luftudtag er 500 ~ 1000V.
(4) Et stort antal isolerende udstyr, udstyr og værktøjer er også vigtige kilder til elektrostatisk ladning. Wafer samlebånd: wafer loading box 35KV, plexiglas dække 8KV, kvarts produkt 1.5KV, wafer bakke 6KV, akryl dække 20KV, bordplade 10KV, plast opbevaringsrum 30KV, glasfiber krystal lastning boks dias over polypropylen bordplade Med 10KV.
Kort sagt: Jo højere renlighedskravene i det rene rum er, desto mere alvorlig er den elektrostatiske opladning.