Grundlæggende ideer og tekniske tilgange til elektrostatisk beskyttelse
Elektrostatisk udladning kan forårsage skade på enheden, men ved at tage passende og passende ESD-beskyttelses- og kontrolforanstaltninger for at etablere et ESD-system, kan ESD'en elimineres eller styres for at minimere skade på komponenter. Der er to grundlæggende ideer til elektrostatisk beskyttelse og kontrol af følsomme enheder:
1. (1) Forhindre akkumulering af statisk elektricitet på steder, hvor der kan forekomme jordforbindelse, og træffe visse foranstaltninger for at undgå eller reducere forekomsten af elektrostatisk udladning eller vedtage metoden til "lækage under generering af siden" for at eliminere akkumuleringen af elektrisk ladning . Afgiften styres i det omfang det ikke forårsager skade.
1. (2) Akkumuler akkumuleret ladning hurtigt og pålideligt.
2.1 Processtyringsmetode
Designet til at producere så lidt statisk ladning som muligt under produktionsprocessen. Til dette formål træffes der foranstaltninger fra aspekter af processtrøm, materialevalg, udstyrsinstallation og driftsstyring til styring af generering og akkumulering af statisk elektricitet og for at undertrykke elektrostatisk potentiale og elektrostatisk udladningskapacitet for ikke at overskride graden af skade. Som i halvlederfremstillingsprocessen skal resistiviteten af det deioniserede vand til skylning styres, efter at den overfladiske forbindelsesdannelsesproces af højhastighedsanordningen er afsluttet. Selv om jo højere resistiviteten er, desto bedre er rengøringseffekten, men jo højere resistivitet er jo højere den statiske elektricitet genereres på chippen. Derfor styres den generelt på et niveau lidt højere end 8 MΩ, og kan ikke være 16-17 MΩ til den indledende proces. Desuden skal emballagematerialerne ved valg af materialer anvende antistatiske materialer, forsøge at undgå ubehandlede polymermaterialer.
2.2 Lækage metode
Den er designet til at eliminere statisk elektricitet gennem lækage. Normalt er elektrostatisk jordforbindelse lækagen af elektrisk ladning til jorden; der er også en metode til at øge objektets elektriske ledningsevne for at få jorden til at lække langs overfladen eller indersiden af objektet, såsom at tilføje et elektrostatisk middel eller forøge fugtigheden. Den mest almindelige er den anti-statiske håndledsrem, der bæres af personalet og den statiske grundstation.
2.3 Elektrostatisk afskærmningsmetode
Ifølge princippet om elektrostatisk afskærmning kan den opdeles i to typer: intern feltafskærmning og ekstern feltafskærmning. Den specifikke foranstaltning er at isolere det ladede legeme fra andre genstande med et jordet skærmdæksel, således at det elektriske felt i det ladede legeme ikke påvirker andre omgivende genstande (indvendig feltafskærmning); Sommetider bruges det afskærmede dæk til at omslutte det isolerede objekt, så det er beskyttet mod eksterne elektriske felter (udvendig afskærmning). For eksempel bruger en GaAs enhedspakke et metalhus eller en metalfilm.
2.4 Forbindelse Neutraliseringsmetode
Det sigter mod at eliminere den statiske ladning ved hjælp af kompleks neutralisering. Anvendelsen af en grounding eliminator til at producere et kompleks med en ladet ion på det ladede legeme for at opnå neutralisering. Generelt når det ladede legeme er en isolator, da den elektriske ladning ikke kan strømme på isolatoren, kan jordingsmetoden ikke bruges til at lække den elektriske ladning. I dette tilfælde skal en antistatisk eliminator anvendes til at generere den ulige ion for at neutralisere. Denne metode bruges til at fjerne den elektrostatiske ladning, der genereres på transportbåndet.
2,5 rene foranstaltninger
Designet for at undgå intermitterende udladninger. Til dette formål skal overfladen af det opladede legeme og de omgivende genstande holdes så glat og rent som muligt for at reducere muligheden for intermitterende udledning.