ESD Beskyttelseskrav til rene rum
Uanset hvordan de eksterne luftforhold ændres, kan Cleam Room opretholde egenskaberne renlighed, temperatur, fugtighed og tryk som oprindeligt indstillet.
Renrumets hovedfunktion er at kontrollere renlighed, temperatur og fugtighed i atmosfæren, som produkter (såsom siliciumchips osv.) Er i kontakt med, så produkterne kan produceres og fremstilles i et godt miljørum. Dette rum kaldes" clean room"" ;.
Ifølge internationale standarder er niveauet for renrum hovedsageligt baseret på antallet af partikler pr. Kubikmeter luft, hvis diameter er større end klassificeringsstandarden.
Renrummet skal konfigureres i henhold til følgende krav:
1. Antistatisk gulv: punkt-til-punkt modstand< 10e9ω;="" punkt-til-jord=""><>
2. Antistatisk wallboard: point-to-point modstand< 10e9ω;="" punkt-til-jord=""><>
3. Antistatisk vindue: punkt-til-punkt modstand< 10e9ω;="" punkt-til-jord=""><>
4. Pålideligt jordingssystem: punkt-til-punkt modstand<>
5. Luftioniseringssystem: Bestem balancespændingsområdet og afkoblingstid i henhold til procesteknologien. Anbefaling: balancespænding< ±="">