Hvordan beskytter statisk elektricitet i halvlederfremstillingsvirksomheder?
For det første er generationen af statisk elektricitet hovedsagelig i følgende aspekter:
(1) Den menneskelige krops aktivitet, den statiske elektricitet frembragt ved friktion, kontakt og adskillelse mellem mennesker og tøj, sko, strømper osv. Er en af de vigtigste statiske strømkilder til fremstilling af elektroniske produkter.
(2) Når kemiske fibre eller bomuldsoveraller gnides mod arbejdsfladen og sædet, kan en elektrostatisk spænding på 6000V eller derover genereres på overfladen af beklædningen, og menneskekroppen er opladet. Ved kontakt med enheden vil det medføre udladning og let beskadige enheden.
(3) Gummi- eller plastsålens isolationsmodstand er så høj som 1013 Ω. Når den gnider mod jorden, genererer den statisk elektricitet og opkræver menneskekroppen.
(4) Når harpiksen, malingsfilmen og plastfilmpakken transporteres i emballagen, kan apparatets overflade og emballeringsmaterialet generere elektrostatisk spænding på flere hundrede volt for at aflade den følsomme indretning.
(5) Almindelig arbejdsflade, som er elektrostatisk genereret af friktion.
(6) Isolationsmodstanden af beton, vokspoleret gulv, gummiark og andre isolerende gulve er høj, og den statiske ladning på menneskekroppen er ikke let at lække.
Ved fremstilling af elektroniske produkter er det umuligt at generere statisk elektricitet. Generering af statisk elektricitet er ikke en fare, faren ligger i akkumuleringen af statisk elektricitet og den resulterende elektrostatiske udladning. Kernen i elektrostatisk beskyttelse er "stille eliminering".
Så vær opmærksom på elektrostatisk beskyttelse på ovennævnte steder.
For det andet er de grundlæggende principper for elektrostatisk beskyttelse: a, hæmmer akkumuleringen af statisk ladning; b, hurtigt, sikkert og effektivt eliminere den statiske ladning, der er genereret. De specifikke foranstaltninger er som følger:
1. Jordforbindelse: Jordforbindelse er at udlade statisk elektricitet direkte til jorden via en ledningsforbindelse. Dette er den mest direkte og effektive metode til anti-statiske foranstaltninger. Til ledere, jordforbindelsesmetoder som reb antistatiske håndledsremme, gulvbelægning og Jordoverflade på arbejdspladsen mv.
Grounding implementeres ved hjælp af følgende metoder:
1) Menneskekroppen er jordet gennem håndledsremmen.
Menneskekroppen er jordet gennem antistatiske sko (eller snørebånd) og et anti-statisk gulv.
2) Arbejdsfladen er jordet.
3) Testinstrument, værktøjsholder, lodning af loddejern.
4) Anti-statisk gulv, jorden (bord) pad jordforbindelse.
5) Antistatisk omsætningsbil, kasse, rammejording.
6) Jord den antistatiske stol.
2. Elektrostatisk afskærmning: Elektrostatiske følsomme komponenter vil blive udsat for statisk elektricitet under opbevaring eller transport. Den elektrostatiske afskærmningsmetode kan svække indflydelsen af ekstern statisk elektricitet på elektroniske komponenter. Den mest almindelige metode er at bruge elektrostatiske afskærmningsposer og anti-statiske. Omsætningsboksen er beskyttet. Derudover har de anti-statiske tøj en vis afskærmningseffekt på tøj i menneskekroppen.
3. Ionneutralisering: Isolatorer har en tendens til at generere statisk elektricitet, og eliminering af statisk elektricitet fra isolatorer er ineffektiv ved jordforbindelse. Den almindeligt anvendte metode er ionneutralisering (delvist ved hjælp af afskærmning), dvs. i arbejdsmiljøet.
For det tredje, elektrostatiske beskyttelsesmaterialer og elektrostatiske beskyttelsesanlæg
Derfor er de i antistatiske materialer og anti-statiske anlæg afledt af disse tre metoder, som kan opdeles i antistatiske målere, antistatiske produkter til jordforbindelsessystemer, antistatisk emballage til afskærmning, transport og opbevaring af anti-statiske materialer. Neutraliseret statisk elimineringsudstyr samt andre anti-statiske produkter.
Antistatisk instrument
1. Håndledsrem / hamstringrem / anti-statiske sko omfattende detektor Brug: Opdag håndledsremme, hamstrings, anti-statiske sko opfylder kravene.
2. Ved test af fodremmen og anti-statiske sko er det nødvendigt at tilføje en metalplade og ledningerne tilsluttet instrumentet.
3. Ud over den elektrostatiske ion-ventilator detektor brug: Kontroller regelmæssigt og kontroller ionblæserbalancen og decay tid for at sikre, at ion-fanen fungerer i et sikkert udvalg af indikatorer.
4. Anvendelse af elektrostatisk felttester: Mål det elektrostatiske felt for at afspejle forekomsten af statisk elektricitet og læs det i spændingsform for at teste den elektrostatiske styrke af miljøet. Generelt påvirket af miljøet og de øjeblikkelige egenskaber ved statisk elektricitet er det svært at virkelig afspejle den aktuelle situation.
5. Elektrostatisk afskærmningstaske tester Brug: Opdag skærmens effekt af den elektrostatiske afskærmningspose.
6. Anvendelse af overfladebestandighed måleinstrument: måleoverflademodstand, volumenmodstand.