Den statiske elektricitets skade i det rene rum
Halvledere, fladskærme, optoelektronik og andre rene værelser, på trods af meget arbejde, påvirker de elektrostatiske problemer i rengøringsrumet stadig produktsikkerhed og produktudbytte, der påvirker produktionsomkostninger og fordele, hvilket påvirker produktkvalitet og pålidelighed.
1. Elektrostatisk Coulomb kraft
Under virkningen af elektrostatisk Coulomb-kraft forårsager det adsorberede støv og snavs komponenterne at lække eller danne en kortslutning, hvilket påvirker ydeevnen og reducerer udbyttet og pålideligheden betydeligt. Hvis støvets partikelstørrelse er> 100 μm, er aluminiumtrådens bredde ca. 100 μm, og tykkelsen af oxidfilmen er 50 μm, produktet er mest sandsynligt, at det vil blive skrabet. Nu er tråddiameteren finere, oxidfilmen er meget tynd, og støvpartikler med lille partikelstørrelse vil beskadige komponenterne. Dette sker hovedsagelig i processer til korrosionsrengøring, fotolitografi, punktsvejsning og emballering.
2, elektrostatisk udladning ESD
(1) Komponentenes isolerende oxidfilm er brudt, og ledningen blæser eller linjen blæser. Hvis den menneskelige krop bærer 10KV (100PF) statisk ladning, forekommer ESD, når enheden berøres, og pulsudladningsstrømmen op til 20A (10 ~ 100s) kan dannes øjeblikkeligt til jorden, for ikke at nævne højdensitet, fint tråddiameter, tynd SiO2-film. Lsi, Vlsi, er den generelle IC, MOS vil lide skade.
Generelt er resistensspændingsfeltstyrken på enhedens isolerende gate SiO2-film E = (5-10) × 106V / cm. Hvis filmtykkelsen af enheden SiO2 er 1000, vil den statiske spænding på 50V-100V eller mere blive ramt, når enhedens indgangsstift anvendes. Brug, og kroppen med statisk elektricitet mere end 50V, 100V er meget almindelig.
(2) forårsager støj og udsender elektromagnetisk interferens
ESD får EMI til at have en skarp top før og efter den elektromagnetiske bølge, og signalet er stærkt, hvilket svarer til et par volt energi i kredsløbet. Frekvensen spænder over et par MH2 eller hundredvis af MH2 med stærk støj, hvilket kan forårsage komponentskader, udstyr og sensorer virker ikke korrekt, eller endda forårsager enheden nedbrudt.
EMI forårsaget af ESD forårsager også et input af et fejlsignal eller et låsende fænomen. I et rent rum placeres EMIF-kassen på waferen på en stålvogn, og waferens ESD overføres til vognen gennem induktoren. Hjulet er isoleret, og diffusionen af EMI får waferhåndteringen til at gå ned.
(3) Elektrisk chok på menneskekroppen
Når menneskekroppen er ESD eller menneskekroppens ESD overstiger menneskekroppens elektriske stødgrænsestrøm på 5 mA eller mere, vil folk have forskellige følelsesmæssige skader, hvilket forårsager personalets følelsesmæssige angst og driftsfejl.
Cleanrooms som halvledere, fladskærm og optoelektronik har gjort en masse arbejde, men de statiske problemer i cleanrooms påvirker stadig produktsikkerhed og produktudbytte, der påvirker produktionsomkostninger og fordele og påvirker produktkvalitet og pålidelighed. Ifølge udenlandske industrielle eksperter er det årlige tab af produkter på grund af statisk elektricitet i USA gennemsnitlig 8-33%. Nogle vurderer, at den årlige skade på elektronikindustrien i USA er værd at 10 milliarder amerikanske dollars. I 1980'erne analyserede Japan de ophugede elektroniske produkter. Tabet som følge af ESD tegner sig for 1/3. Kinas halvledere, flydende krystaldisplays, optoelektronik osv. Startede alle sent, men elektrostatiske farer forekommer også fra tid til anden, og udbyttet er lavt. Banker, værdipapirvirksomheder, fortrolige databaser, overvågningscentre, forsendelseslokaler mv., Hvis ESD opstår, er det let at forårsage interferens, og dataene går tabt, situationen er endnu mere alvorlig.