Elektrostatisk adsorption af ion fan
I LCD-branchen, glas substrat bliver større, og evnen til at tiltrække afgifter er også forbedret. På grund af den store størrelse af substratet, kan kontaminering resultere i en nedgang i udbyttet. Ligesom andre forurening kontrol industrier, har LCD industri ledt efter nye materialer, der kan løse problemer, ESD. Materialer, der anvendes i renrum er også mere tilbøjelige til at bruge antistatiske ion blæsere, og nye materialer kan blive retsforfulgt på bomuld svaberprøver og klude i stedet for traditionelle materialer.
Det største problem med ESD kontrol i et rent værelse er bevægelighed i rene rum. Fordi mennesker bære en masse polyester stof, genererer de en masse af elektrisk ladning. Den eneste måde at fjerne denne afgift i et rent værelse er til jorden.
I de seneste fem år, er det fundet, at en beklædningsgenstand system lavet af en blanding af kulfiber og stof giver renrums krav til ISO 5 (klasse 100).
Hver del af beklædningsgenstanden har samme elektrisk ledningsevne og har en elektrisk ledende forbindelse fra emhætten til sålen. Personer, der arbejder i et rent værelse kan gå gennem den ledende sole uden jordforbindelse når iført denne tøj, således at de ikke er begrænset af længden af jordledningen.
Fremkomsten af disse arbejdstøj er et resultat af høje krav til det produkt, som hjælper med at reducere lavt udbytte og dårlige høj forårsaget af ESD problemer i rene rum.
Der er ingen billig og hurtig reparation metode for ESD ion fan kontrol. Centrale er at styre ESD, såsom suspenderet laminar flow ion fan, eller installere en ion fan ved siden af det materiale, der har behøver for at kontrollere ESD. Da størrelsen af chippen (IC) falder, bliver det mere følsomme over for ESD. Nu, kontrol af ESD er ikke begrænset til beskyttelse af den fungerende netforbindelse, men også kontrol af wafer og det personale, der producerer wafer. Mange virksomheder med høje standarder kontrollerende ESD på denne måde.
